1、前言

        在半導和集成系統軟件電路系統軟件加工中，用料、晶圓、處理器的自測是必沒法少的重要環節。不斷地半導自測技術采用的發展，數字11源表SMU結合實際檢測器臺的系統軟件組和以經被大范圍采用于用料/細微電子元件的電學優點印證中。數字11源表SMU具備著源測作用，應該有感應電流-輸出功率(I-V)優點線性，是半導用料、電子元件電功能定量分析量測的關鍵；檢測器臺有人工、半智能和全智能七種，只能根據自測可以考慮配建的品牌可以了。在挑選時可以小心檢測器的質地包括針尖的長度與款式，檢測器質地各不相同之處，其電位差也并不相同之處；前者，檢測器尖磨花和環境破壞也會對自測最終結果構成影響到。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、檢測器、DUT聯接示意圖

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        探頭臺與源表的鏈接常見的有哪幾種，一種生活便用同水平線鏈接，另一個說的是種生活便用三同水平線鏈接。當側量小感應功率(nA、pA)時，應便用三同軸轉移引擎和三同水平線纜。在連通源表防護上方試驗儀集成運放中，因此三同軸的防護層與內芯區間內是等電勢差，不就有漏感應電人流手術生，就能夠提升 小感應功率試驗儀控制精度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2絕緣性；3內屏避層；4上面層；5外屏避層；6外絕緣護套）

圖：三同中線纜等效電線圖

  上圖如圖為三同軸網纜等效電源電子電路圖，輸出精度高品質HI和Guard直接的電勢差差可以說為0，于是消減電線電纜身體的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S國產直流電源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸接器與常見的兩芯接器為之有所差異，可的同時接駁電磁波、與地面和禁掉掉層，禁掉掉實際體現效果。和多芯電纜比起，三同軸電纜型式簡簡單單，可靠性高；和兩芯同軸電纜比起，含有更加高的禁掉掉性能指標和小電磁波的數據傳輸工作能力。三同軸電纜的接方式方法用了GUARD電磁波，有著了禁掉掉影響，更有幫助于小電磁波的衡量。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

使用的杜邦線轉BNC母頭做好連接方式；

- 三同軸連接 -

使用的三同軸電話轉接電源模塊做好鏈接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

之間運行三同水平線進行接連；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將常見的三同軸更改為高電壓特用三同軸網；直流電三同軸管接線頭的擊穿電壓效果較弱，普賽斯操作的直流電三同軸管接線頭應該擊穿電壓3500V。

圖：左-直流電三同軸、右-通常三同軸

HCPL 100大電流源表

大電壓精確測量時，單根公測電極限制值的電壓国产精品一区视频-国产午夜亚洲精品午夜鲁丝片-国产免费一区视频观看免费-国产一区二区在线观看视频，電壓過大可以會受到燒針干涉現象，干擾公測后果，往往要動用多公測電極串并聯。

圖：多測試探針串聯提醒

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面金屬電極連到舉手

圖：異面金屬電極對接示意圖

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺結構上有很多金屬，在帶電的環境下會存在很強的靜電，一般探針臺會自帶大地連接線，使用中將探針臺接大地，避免釋放靜電給測試帶來影響。一般地線分為兩類：一種是工作接地，另一種是安全性接地。工作接地是把金屬導體銅塊埋在土壤里， 再通過導線引出地面，將導線接入設備的接地端口，形成接地回路。 安全性接地是指使用探針臺金屬外殼自帶的接地線進行接地，當探針臺金屬外殼發生絕緣損壞，外殼帶電時，電流沿著其外殼自帶的接地線接入大地，以達到安全的目的。

-連接線接地：探針臺的連接線為同軸線，兩根同軸線的內芯是信號線，從而導致兩根同軸線的外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的作用，在磁場環境復雜的情況下會對測試產生較大的干擾。因此，為了獲得較好的測試效果，需要將同軸線纜的外屏蔽層接入工作地線。

-關閉光源：很多器件和材料對光源敏感，測試中如果不關閉光源會影響測試結果，所以測試時盡量在無光源影響的環境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針臺增加屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極材料連接時通常會使用探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平整度會對材料的接觸面有影響，那么此時就需要使用引電極。